当前位置：首页 > 产品中心
硅磨削加工设备
硅磨削加工设备
晶盛机电产品服务
磨削设备 晶盛机电研发出应用于单晶硅棒磨削加工的自动化设备，可同时兼容硅棒旋转倒圆和平推倒角加工方式边缘轮廓加工（或磨削）和边缘修整是一种特殊的背面磨削技术，在坚固耐用的精密晶片磨床内采用精密的金刚石砂轮，磨床采用气浮主轴，以最大限度地减少谐波共振。晶片研磨机 AxusTech2019年11月28日 本项目开发的硅片超精密磨床、砂轮和磨削工艺可用于直径≤300mm硅片的批量加工的，还可推广应用于硅激光反射镜、蓝宝石、碳化硅等硬脆晶体基片的超精密磨削，应用 大尺寸硅片超精密磨削技术和装备 dlut本机床是可以对碳化硅、蓝宝石等晶锭外圆磨削、参考边磨削或V Ntoch槽开槽等工序一次加工完成的精密数控多功能磨床。 设备亮点 1、 本机床为卧式外圆磨床结构，头尾架在工作台上固定，砂轮架为主副双砂轮架，双砂轮架在X轴方向 YHMGK1720 精密数控多功能外圆磨床宇环数控机
晶圆的制备④硅片研磨加工丨半导体行业
2021年12月12日 目前可以用于硅片研磨的磨料材料主要有Al2O3、SiC、ZrO2、SiO2、B4C等高硬度材料，其中以Al2O3和SiC应用最为普遍。 磨料的粒径应该尽可能地均匀，对最大粒径应 设备亮点 1、本下盘轴向采用静压转台轴承结构，具有高精度、高刚性特点，对于大压力加载磨削加工，具有良好的精度保持性。 2、下盘内外齿圈采用伺服电机独立驱动，工艺调节范围广， YHJ2M77120 高精度立式双面磨床宇环数控机床股份有限 2020年3月23日 大尺寸硅片生产技术在硅单晶微缺陷控制、材料切割、磨削、抛光等加工过程的精度方面具有很高要求，要逾越很多技术壁垒才能达到后工序的要求。 其中，超精密磨削主 2019有研集团科技成果展示①——大尺寸硅片超精密磨削 2022年7月4日 氮化硅陶瓷内孔用什么磨头加工？很多做机加工的朋友，特别是精密模具加工的朋友，可能会碰到氮化硅陶瓷结构件，这个时候没有非金属陶瓷材料加工经验的朋友可能就会碰到没有合适的设备，不熟悉陶瓷材料加工方法等等 氮化硅陶瓷内孔磨削加工方案
超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展技术
2024年5月6日 日本东京精密的 HRG 系列高刚性单轴磨床 HRG300 通过将加工点配置在三角形排列的滑动导 轨的中心位置，使得磨削进给轴线与加工点共线，减 小了由磨削力带来的变形，增强了设备整体的刚性， 从而抑制了晶圆磨削损 近日，子公司南京三芯半导体设备制造有限公司（以下简称“南京三芯”）收到国内某光伏头部企业（以下简称“客户”）发来的预中标通知，通知确认南京三芯预中标该客户的“单晶硅棒机加设备项目”，南京三芯将为其提供“硅棒磨倒一体加工中心”。子公司南京三芯硅棒磨倒一体加工中心再次中标南京三超新 2012年3月2日 方装置上，将单晶硅圆棒加工成硅方棒。加工后的单晶 硅棒成对称矩形。对专用于单晶硅棒切方用金刚石外圆切割片的要求是 其刃口越薄越好。金刚石外圆切割锯片在单晶硅棒切方 装置上是两片同时使用，将硅棒切成对称矩形。liuzhidong 8 单晶硅棒开方设备第三章半导体晶体的 切割及磨削加工 iczhiku2021年3月30日 工件的输送方式为硅品总工艺流程见图61,硅电极蚀刻工艺见图62, 健环蚀 粗加工：工人使用车床和磨床对硅片外园和端面进行磨削，专用倒角设备进行外圆倒角磨削，加工中心精密加工内圆，加工过程中使用SC525H的乳化波。半导体集成电路芯片主要生产设备及工艺流程电极
晶盛机电产品服务
晶盛机电研发出应用于单晶硅棒磨削加工的自动化设备，可同时兼容硅棒旋转倒圆和平推倒角加工方式 切片设备 晶盛机电研发出了光伏硅、半导体硅、蓝宝石三大领域的晶体切片设备，满足4英寸至12英寸多规格的高质量切片需求2021年12月12日 研磨时对磨料的要求是：对晶片的磨削 性能好；磨料颗粒大小均匀；磨料具有一定的硬度和强度。在实际研磨过程中要不断加入研磨剂。硅是一种硬度很高的材料，所以能够用于研磨硅晶体的磨料必须具有比硅更高的硬度。目前可以用于硅片研磨 晶圆的制备④硅片研磨加工丨半导体行业设备 亮点 1、 本机床为卧式外圆磨床结构，头尾架在工作台上固定，砂轮架为主副双砂轮架，双砂轮架在X轴方向单独进给，在Z轴方向共同运动，在此磨床上可以完成外圆磨削和主副参考边的加工两个工序 YHMGK1720 精密数控多功能外圆磨床宇环数控机床股份 2020年4月9日 加工过程中，由于磁流变抛光垫总是覆盖着陶瓷球，使刚性接触变为柔性接触，可大大减少了磨削冲击和加热引起的二次变形。资料来源： 氮化硅陶瓷球的超精密研磨技术，吕冰海，袁巨龙，林旭。氮化硅球超精密加工技术介绍 by Cathie Montanez让氮化硅陶瓷球“圆又亮”的精密研磨技术 360powder
超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展技术磨料磨具
2024年5月6日 日本东京精密的 HRG 系列高刚性单轴磨床 HRG300 通过将加工点配置在三角形排列的滑动导 轨的中心位置，使得磨削进给轴线与加工点共线，减 小了由磨削力带来的变形，增强了设备整体的刚性， 从而抑制了晶圆磨削损伤，并延长了砂轮使用寿命， 最终实现了第三章 半导体晶体的切割及磨削加工其缺点是： •晶片表面损伤层较大； •刀口宽，材料损失大； •生产率低，每次只切割一片； •不适合加工大直径硅晶片。liuzhidong21liuzhidong22(3)金刚砂线切割。第三章 半导体晶体的切割及磨削加工百度文库2024年3月7日 碳化硅（SiC）作为一种先进的半导体材料，在多个关键领域中具有重要应用。随着技术进步和市场的需求增长，碳化硅晶圆的制造工艺和精密加工技术变得至关重要。文章探讨了碳化硅晶圆制造中的各种精密加工技术，以及 「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方 5 天之前 集成电路芯片28 nm以下特别是7 nm线宽不仅对大硅片各项性能要求越来越高，对刻蚀机上用的硅部件也提出了更严格的要求，例如硅环表面的均匀性，硅电极微孔内壁机械损伤和微孔表面形貌等。在加工方法上，7 nm线宽用 集成电路刻蚀用硅部件加工及最新发展 汉斯出版社
硅晶体滚磨与开方ppt 80页 VIP 原创力文档
2018年10月11日 加工对象：滚磨后的平面、圆面 精密度：粗抛光10～20um 精细抛光1um 原则：采用不同大小的磨粒，进行逐步精细抛光。 金刚石毛刷 第1章 内容要求—作业 简述硅单晶进行滚磨的目的和所用设备。 根据磨粒的固定方式，磨削加工分为哪两类。 简述磨削加工的2024年9月11日 厦门新瓷材料科技有限公司是一家专业从事精密陶瓷材料研发，生产和销售的科技型企业，为客户提供高精度，高品质的精密陶瓷零件。提供包括氧化铝，氧化锆和氮化硅等新型陶瓷材料，涉及陶瓷成型，烧结，机械加工和精密磨削等先进制造技术。厦门新瓷材料科技有限公司氮化铝陶瓷,氮化硅陶瓷加工 2020年12月28日 整个过程中要应用到微细加工和超精密加工等先进制造工艺和设备，而其中硅片的超精密加工（包括超精密磨削、研磨和抛光）工艺和设备在IC制造过程中具有重要作用，是IC制造的关键技术。对直径≤200mm的硅片，传统的硅单晶硅片的制造技术加工这种方 法与砂轮外圆磨削相似，把薄的金刚石锯片夹持在高速 旋转的主轴上，用外径上的金刚石磨粒锯切工件。 目前外圆切片还用在单晶硅棒切方方面（俗称开 方），通常用两片金刚石外圆切割片同时装在单晶硅切 方装置上，将单晶硅圆棒加工成硅方棒。加工第三章 半导体晶体的切割及磨削加工百度文库
半导体行业磨削解决方案 More SuperHard
2 天之前 常见的半导体材料有硅, 砷化镓等。磨澳提供高精度的金刚石砂轮方案帮您解决半导体行业材料及器件磨削难题。 1 硅锭滚圆砂轮。使用金属或混合结合剂砂轮进行硅锭外圆磨削，以及对晶向的定向平面加工。磨削加工工艺与设备 1)周磨(图a、b) 2)端磨(图c、d)a)卧轴矩台平面磨床磨削 b)卧轴圆台平面磨床磨削 c)立轴圆台平面磨床磨削 d)立轴矩台平面磨床磨削444 磨床1M1432A型万能外圆磨床M1432A型万能外圆磨床的主要部件组成如 下：床身、头架、尾架、工作磨削加工工艺与设备百度文库2011年9月18日 晶片减薄设 备是对晶片背面材料（主要是半导体硅材料）进行磨削加工的设备。 论文首先通过晶片减薄技术原理研究，分析了硬脆材料加工理论、硬脆材料加工 的压痕断裂理论和切削模型近似理论：在对硬脆材料高速 晶片减薄设备技术研究 豆丁网2024年3月29日 因此，对这些关键工艺步骤中的设备进行精细的控制和优化至关重要。深硅刻蚀设备 深反应离子刻蚀技术（DRIE）是一种常用于制造硅通孔的工艺，其中最常见的深硅刻蚀技术被称为“Bosch（博氏）”工艺，以最初发明该技术的公司命名。科普｜TSV 制程关键工艺设备技术及发展
硬脆材料零件磨削加工 Jingdiao
3 天之前 根据零件形态和尺寸选择合适的设备 硬度高、脆性大，是硬脆材料的共同特征，容易在加工时产生裂纹，导致加工尺寸误差较大、表面效果不好。磨削型精雕五轴高速加工中心精度高，结构防护性能好，配备砂轮磨削专用附件，可 子公司南京三芯公司自主研发、拥有核心自主知识产权的硅棒磨倒一体机——TC11035硅棒磨倒一体加工中心，近日中标国内某光伏头部企业机加自动化项目，中标金额约1300万元。本次中标，是公司在装备业务布局上实现的重大突破，同时也标志着公司相关产品得到了行业的高度认可。硅棒磨倒一体机中标某光伏企业机加项目南京三超新材料股份 2020年8月14日 陶瓷材料的磨削加工是目前已有加工方法中应用最多的一种。磨削加工所用砂轮一般选用金刚石砂轮。常见的磨削设备： 平面磨床，CNC陶瓷精雕机、无心磨床，外圆磨床，内圆磨床，坐标磨，工具磨等。氮化硅陶瓷件的加工方法 知乎2020年7月29日 随着集成电路进入7 nm 技术水平,对硅部件表面的粗糙度和内径台阶尺寸要求越来越高,磨片因同时加工正面和背面,不能精确控制正面台阶的尺寸,因此到7 nm 技术水平及以下,磨片将被磨削代替,一般采用粗磨削(300~600#金刚石砂轮)和精磨削(1200#),在加工中心集成电路刻蚀用硅部件加工及最新发展百度文库
晶圆磨削中TTV的优化方法百度文库
2019年9月5日 半导体制造工艺与设备 电 子 工 业 专 用 设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing 大于硅晶圆的真空吸盘上，并随吸盘一起绕其中 心轴旋转，杯型砂轮绕其主轴旋转并沿轴向进给， 采用自旋转磨削方法加工硅晶圆的装置原理如图 1(a)所示[3]。自 2020年12月28日 2 单晶硅片的加工工艺 集成电路制造过程共分4个阶段：单晶硅片制造→前半制程→硅片测试→后半制程。整个过程中要应用到微细加工和超精密加工等先进制造工艺和设备，而其中硅片的超精密加工（包括超精密磨削、研磨和抛光）工艺和设备在IC制造过程中具有重要作用，是IC制造的关键技术。单晶硅片的制造技术 知乎2019年4月29日 本发明属于超硬磨料工具领域，具体涉及一种硅锭磨削用免修整复合结合剂超硬砂轮及其制备方法和应用。背景技术随着新能源的大力发展，光伏因其清洁、可再生、不受地域限制等优点成为未来新能源发展的主要方向之一。硅锭的磨削加工是硅电池片生产环节的关键节口，其对磨削用砂轮的高效和 一种硅锭磨削用免修整复合结合剂超硬砂轮及其制备方法和 2019年11月28日 一、产品和技术简介：单晶硅片是集成电路（IC）制造中应用最广泛的衬底材料，需要经过切、磨、抛光等一系列超精密加工工艺过程获得超平整超光滑无损伤的表面，其中，超精密磨削装备由于其加工效率高、可稳定获得高面型精度和表面质量、容易实现加工过程自动化等优点，成为集成电路制造 大尺寸硅片超精密磨削技术和装备 dlut
超精密加工技术讲义 USTC
2018年11月1日 本章就超精密加工机床的关键技术、超精密单点切削加工技术等分别进行 讨论。 11 超指密加工机床的关键技术 超精密加工机床是实现超精密加工的首要基础条件，随着加工精度要求的 提高和超精密加工技术的发展，超精密加工机床也获得了迅速发展。超精密2024年7月31日 合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司是一家专业从事泛半导体超精密磨削专用加工设备 多材料适用性：砂轮划片机设计用于处理各种脆性材料，包括但不限于玻璃、陶瓷、硅 晶圆等，具有较强的适应性 脆性材料行业整体解决方案泛半导体超精密磨削加工设备 摘要： 随着国内半导体产业的蓬勃发展,半导体材料加工设备需求激增,相应的研究也迅速发展由于国内研究起步晚,基础差,与国外差距大,差距约20年高端设备被国外垄断,其中滚磨一体机是半导体硅材料加工的关键设备之一,同样被国外垄断国产设备采用分体式设计,精度差,效率低,自动化程度低, 基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究 百度学术2023年8月2日 精密磨削和表面精加工 是制造业中两个相互关联的过程。每一项都在决定最终产品的质量、功能和寿命方面发挥着关键作用 医疗器械：手术器械、植入物和设备 需要光滑、卫生的表面处理。精密磨削用于获得仪器的尺 精确磨削的细节：实用指南 ProleanTech
硅片自旋转磨削法的加工原 和工艺特点的介绍 电子发烧友网
2020年12月29日 硅片自旋转磨削法的加工原理和工艺特点的介绍摘要：随着IC技术的进步，集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片制造技术主要适应小直径（￣＜200 mm）硅片的生产；随着大直径硅片的应用，硅片的超精密磨削得到广泛的应用。摘要 ： 结合单晶硅片的发展 ， 回顾了单晶硅片超精密磨削技术 与 设 备 的 发 展 历 程 ， 对比分析了广泛 硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点 ， 讨论了用于 应用的转台式磨削 、 单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削单晶硅片超精密磨削技术与设备百度文库2024年7月11日 可以使用车削、铣削、端面加工、钻孔、攻丝、电火花加工、挖槽等多种加工工艺以及相应的工具和参数来加工铝合金。 然而，先进的 CNC 加工设备、工具和专业操作员对于铝的精密 CNC 加工也是必不可少的。铝加工：工艺、合金、工具和应用 ProleanTech5 天之前 本申请涉及半导体加工设备，具体而言，涉及一种游星轮外圈升降闪停装置以及外圈驱动系统。、在高档数控晶圆片加工机床上，游星轮的运行轨迹极为重要，游星轮的轮齿分别与中心驱动系统的外齿和外圈驱动系统的内齿相啮合，中心驱动系统和外圈驱动系统带动游星轮运动、实现游星轮的自转和 金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术X技术
一颗硅棒是怎么变成硅片的？加工
2021年8月24日 一颗单晶硅棒是怎么变成单晶硅片的？今天的中环小课堂就为大家介绍半导体硅研磨片的工艺流程。 一般而言，加工半导体硅研磨片要经过如下步骤：切断—滚磨—粘棒—线切—去胶—切片清洗—倒角—研磨—磨片清洗。 切断 将单晶硅棒切成段，通过单晶本身ρ（电阻率）高低不同分割成不同长度 2010年9月26日 洗;立式设备占地小,操作方便,在背面减薄和硅 片制备单面加工中获得了广泛应用。图7暋日本Okamoto公司VG401立式磨削设备 图8暋日本Komatsu公司UPG300H卧式磨削设备 为了提高生产效率,满足半导体生产线需求, 基于硅片旋转磨削原理的商用磨削设备采用年 月下半月 单晶硅片超精密磨削技术与设备2024年6月24日 对于氮化硅陶瓷的精密磨削加工也取得了显著的进展。一些发达国家的研究机构和企业合作，共同推进了氮化硅陶瓷磨削技术的研究和应用。他们通过优化磨削工艺参数、开发新型磨削工具、提高磨削效率和质量等方面取得了显著成果。基于单颗磨粒切削的氮化硅陶瓷精密磨削仿真与实验研究docx